加工精度到達 1微米的機器加工辦法。精細機器加工是在嚴厲控制的環境條件下，運用精細機床和精細量具和量儀來完成的。加工精度到達和超越 0.1微米稱超精細機器加工。在航空航天工業中，精細機器加工次要用于加工飛行器控制設備中的精細機器零件，如液壓和氣動伺服機構中的精細配合件、陀螺儀的框架、殼體，氣浮、液浮軸承組件和浮子等。飛行器精細零件的構造復雜、剛度小、要求精度很高，而且難加工資料所占的比重較大。

精細機器加工的工藝效果是：

一、零件的幾何外形和互相地位精度到達微米或角秒級；

二、零件的界線或特征尺寸公差在微米以下;

三、零件外表微觀不平度(外表不平度均勻高度差)小于0.1 微米;

四、互配件能滿足配合力的要求；

五、局部零件還能滿足準確的力學或其他物理特性要求，如浮子陀螺儀扭桿的改變剛度、撓性元件的剛度系數等。

精細機器加工次要有精車、精鏜、精銑、精磨和研磨等工藝。

一、精車和精鏜：飛行器大少數精細的輕合金（鋁或鎂合金等）零件多采用這種辦法加工。普通用自然單晶金剛石刀具,刀刃圓弧半徑小于0.1微米。在高精度車床上加工可取得1微米的精度戰爭均高度差小于0.2微米的外表不平度,坐標精度可達±2微米。

二、精銑：用于加工外形復雜的鋁或鈹合金構造件。依托機床的導軌和主軸的精度來取得較高的互相地位精度。運用經細心研磨的金剛石刀頭停止高速銑切可取得準確的鏡面。

三、精磨：用于加工軸或孔類零件。這類零件少數采用淬硬鋼，有很高的硬度。大少數高精度磨床主軸采用靜壓或動壓液體軸承，以保證高波動度。磨削的極限精度除受機床主軸和床身剛度的影響外，還與砂輪的選擇戰爭衡、工件中心孔的加工精度等要素有關。精磨可取得 1微米的尺寸精度和0.5微米的不圓度。

四、研磨:應用配合件互研的原理對被加工外表上不規則的凹陷部位停止選擇加工。磨粒直徑、切削力和切削熱均可準確控制，因此是精細加工技術中取得*精度的加工辦法。飛行器的精細伺服部件中的液壓或氣動配合件、動壓陀螺馬達的軸承零件都采用這種辦法加工,以到達0.1甚至0.01微米的精度和0.005微米的微觀不平度。